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工業機器人

半導體 | 史陶比爾凈室機器人用于高價值硅片搬運

  2019年04月28日  

  半導體行業對自動化設備精度、速度和減少顆粒排放量等方面的要求尤為苛刻。尤其對于價值極高的半導體硅晶圓搬運,德國 SüSS MicroTec 公司青睞史陶比爾TX60L cr 凈室機器人,用于在超潔凈室環境內的,極高穩定性要求的搬運硅片自動化涂膠工序中。

  挑戰

  晶圓自動化搬運

  機器人將工件從A處搬運至B處通常是一道簡單工序。但若涉及硅晶圓搬運,則與常規要求完全不同,因為一片硅晶圓的價值高達幾千歐元。為確保這些高價值產品絕對安全的搬運,德國SüSS MicroTe 集團選用了高精度的史陶比爾TX60L CR 凈室機器人。

  其集團旗下公司SüSS MicroTec Lithography GmbH,致力于晶圓后道加工中的光刻工藝,并提供全系列光阻涂布機產品。該公司精通晶圓搬運工藝,搬運效果快速、精準、可靠,破損率與其每分鐘搬運速度相比幾乎可忽略不計,為其贏得了全球客戶。

  解決方案

  基于機器人搬運的創新涂膠和顯影系統

  即使是標準配置,SüSS MicroTec的系統設計也旨在具備高柔性,正如其 ACS300 Gen2 型號涂膠和顯影一體機。這套系統無需機械改造即可用于200-300mm晶圓加工,主要包括先進涂膠工藝、晶圓級封裝和三維集成技術。該系統內所有搬運工作均由高精度史陶比爾TX60L cr機器人完成。在后道加工環境中潔凈等級達到 ISO 3 級至 ISO 4 級,凈室版本的TX60L可輕松滿足。

  SüSS MicroTec系統在可靠性、重復定位精度、正常運行時間和安全搬運方面都有非常高的要求。因為在這一階段前,已完成近90%的生產步驟,一片極其昂貴的晶圓破碎就能導致嚴重的后果。

  與半導體業內較為普遍的平面三連桿機械臂(只有3個自由度)相比,史陶比爾六軸機器人更具柔性。尤其是臂展較長的 TX60L 具備更廣工作行程,更大的運行空間支持系統內部更靈活的模塊安排。此外,TX60L 還具備更高的取放精度和出色的重復定位精度,這在晶圓邊緣光刻膠去除方面是一項決定性標準。

  客戶應用

  最高精度保證最大化可靠性

  將晶圓放置到加工模塊時的動作必須非常精準。憑借高精度史陶比爾TX60L,在模塊內達到±50微米絕對放置精度的既定目標能輕松實現,這很大程度上歸因于史陶比爾機器人自有專利JCS驅動技術。

  在拾取和嵌入晶圓時,機器人的精準運動軌跡也是一大優勢。TX60L能以出色的可靠性搬運昂貴晶圓而無任何輕微顫動,也未曾發生晶圓破碎問題。系統的周期時間視實際任務而定,模塊加工時間對某些工藝來說是限制因素,但對于其他任務來說,機器人自身的取放周期時間才是決定性因素。在兩種情況下,系統都受益于機器人的超快速度的周期時間。即使是在較大加速度下,史陶比爾機器人仍能保持精準運行,從而安全避免晶圓損壞。

  實際上,SüSS創新地將史陶比爾六軸機器人集成到ACS 300 Gen2系列設備絕非偶然,而是經過對市面上現有機器人產品的嚴格篩選。在尋求工作范圍、速度、精度和可靠性的最優組合時,只有性能卓越的史陶比爾機器人才適用。

  客戶收益

  ● 有效預防晶圓破損

  ● 精度高達微米級的機器人搬運

  ● 柔性系統設計

  ● 縮短周期時間

  ● 高生產率

標簽:史陶比爾 TX60L cr 凈室機器人我要反饋
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